检测项目
1.波前误差（WavefrontError）：PV值≤λ/10（λ=632.8nm），RMS≤λ/50
2.球差（SphericalAberration）：Z4项系数≤0.05λ
3.彗差（ComaAberration）：Z5/Z6项系数≤0.03λ
4.像散（Astigmatism）：Z3/Z4项系数≤0.02λ
5.场曲（FieldCurvature）：焦面偏移量≤5μm@Φ30mm视场
检测范围
1.高数值孔径显微物镜（NA≥0.95）
2.EUV光刻机投影物镜系统
3.空间遥感相机离轴三反光学系统
4.光纤准直器GRIN透镜阵列
5.激光扩束镜非球面透镜组
检测方法
1.ISO10110-5:2015光学元件表面不规则度测试
2.ASTME2175-01(2021)激光干涉法波前测量规程
3.GB/T12085.14-2022光学系统杂散光系数测定
4.ISO9334:2019光学传递函数(MTF)测量方法
5.GB/T26333-2010显微物镜分辨力检验方法
检测设备
1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：4D动态干涉测量，精度0.1nmRMS
2.TriopticsImageMasterHRMTF测试仪：支持f/0.7系统测试
3.OptikosLensCheck数字哈特曼仪：1024点阵采样频率
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：0.1垂直分辨率
5.4DTechnologyPhaseCam6000动态相移干涉仪：1MHz采样速率
6.OphirSpiriconM2-200光束质量分析仪：M因子测量精度3%
7.ThorlabsWFS-300波前传感器：Shack-Hartmann原理，30Hz刷新率
8.KeyenceLT-9010激光位移计：0.01μm线性测量精度
9.NikonNEXIVVM-500影像测量仪：双远心光学系统
10.MalvernPanalyticalMorphologi4表面形貌分析系统