检测项目

1.初始真空度：测量范围110⁻⁵Pa~110Pa（绝对压力）
2.泄漏率：精度5%，量程110⁻mbarL/s~110⁻mbarL/s
3.压力稳定性：24小时波动值≤2%FS
4.气体渗透系数：测试温度-70℃~300℃，分辨率0.01cm/(m24h0.1MPa)
5.系统抽速：测量误差≤3%，范围0.1L/s~10000L/s

检测范围

1.真空包装材料：铝塑复合膜、镀氧化硅PET膜等软包装材料
2.半导体元件：晶圆封装材料、MEMS器件腔体
3.医疗器械：血液透析器、真空采血管
4.工业阀门：高真空球阀、波纹管密封阀
5.航天部件：推进剂贮箱、舱门密封系统

检测方法

国际标准：
ASTME493-06(2020)氦质谱检漏法
ISO3529-3:2021真空测量术语与测试程序
国内标准：
GB/T3163-2007真空技术术语
GB/T6070-2007真空计校准规范
GB/T31480-2015包装材料透氧性试验方法

检测设备

1.INFICONUL1000氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻mbarL/s
2.AgilentUHV-24高真空计：量程110⁻⁰Torr~1000Torr
3.LeyboldPHOENIXL300检漏系统：集成氦喷枪与自动充气装置
4.MKS925B电容薄膜规：精度0.15%，量程110⁻⁴Torr~1000Torr
5.PfeifferVacuumHPT500分子泵组：极限真空510⁻⁹mbar
6.EdwardsTIC系列电离规：线性度10%，量程110⁻⁰mbar~110⁻mbar
7.VACUBRANDMD4C隔膜真空泵：极限真空0.5mbar
8.CanonANELVAMRH-200残余气体分析仪：质量数范围1-200amu
9.ShimadzuMFC-2020流量校准器：精度1%FS，量程0.01sccm~100slm
10.KeysightU3606B数据采集器：24位ADC，采样率50kS/s