检测项目

1.光束发散角测量：测量范围0.1mrad至10mrad，角度分辨率≤0.005mrad

2.光斑直径分析：直径范围50μm-20mm，重复性误差≤1%

3.M因子测定：测量精度0.05（符合ISO11146标准）

4.波前畸变检测：PV值≤λ/20（λ=632.8nm），RMS≤λ/100

5.能量密度分布：空间分辨率5μm/pixel，动态范围16bit

检测范围

1.光学透镜组（含非球面透镜与柱面透镜）

2.激光器输出光束（波长范围190nm-10.6μm）

3.光纤耦合器件（单模/多模光纤端面输出）

4.投影光刻系统照明模块

5.医用激光治疗设备输出端

检测方法

ISO11146-1:2021《激光束宽度、发散角和光束传播比的测试方法》

GB/T13865-2017《激光辐射光束宽度测试方法》

ASTME1390-19《激光束直径测量标准指南》

ISO15367-1:2020《激光束波前测量的试验方法》

GB/T31227-2014《激光光束参数测量方法》

检测设备

ZYGOVerifire™HD干涉仪：波长632.8nm/1064nm可选，波前精度λ/100RMS

Ophir-SpiriconM2-200s：M因子测量系统，支持CW/脉冲激光（1W-10kW）

ThorlabsBP209-IR/M：红外光斑分析仪（900-1700nm），分辨率12801024像素

NewportLBP2-10：激光光束轮廓仪（紫外到近红外），扫描频率10kHz

HamamatsuC10910-05：高灵敏度光束分析相机（190-1100nm），量子效率＞80%

PrimesFocusMonitorFM：千瓦级工业激光焦点监测系统（400-1080nm）

DataRayWinCamD-LCM4：紫外增强型光束分析相机（190-400nm）

CoherentBeamView™Analyzer：实时M因子测量系统（功率密度≤5kW/cm）