检测项目
1.光学均匀性：最大允许偏差510⁻⁶@633nm波长
2.折射率偏差：标称值0.0002范围内
3.表面粗糙度：Ra≤0.5nm@11mm采样区域
4.面形精度：PV值≤λ/10(λ=632.8nm)
5.透射波前畸变：RMS≤λ/20@全口径扫描
6.激光损伤阈值：≥15J/cm(1064nm,10ns脉冲)
7.镀膜层厚度偏差：1%设计值
检测范围
1.熔融石英补偿镜片(直径Φ5-300mm)
2.氟化钙(CaF₂)红外补偿镜片
3.H-K9L光学玻璃补偿镜片
4.晶体类补偿镜片(如LiF、MgF₂)
5.PMMA聚合物基非球面补偿镜片
6.多层镀膜消色差补偿镜组
检测方法
ASTME903-20《材料光谱透射率与反射率标准测试方法》
ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷公差规范》
GB/T26397-2010《光学晶体材料均匀性干涉测量方法》
GB7242.1-2012《激光辐射窗口组件损伤阈值测试规程》
ISO14997:2012《光学元件表面缺陷检验方法》
MIL-PRF-13830B《光学元件表面质量评定规范》
检测设备
ZygoVeriFireMST+激光干涉仪：波长632.8nm,面形精度测量分辨率λ/1000
TaylorHobsonFormTalysurfi-Series轮廓仪：纵向分辨率0.1nm,横向采样间距0.5μm
PerkinElmerLambda1050+分光光度计：光谱范围175-3300nm,带宽0.05nm
OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：12000放大倍率,Z轴分辨率1nm
NewportSolaria系列激光损伤测试系统：最大脉冲能量50J,脉宽1-20ns可调
FISBAμPhase动态干涉仪：100mm口径,4D波前分析速率120fps
BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直测量范围10mm,XYZ重复精度3nm
ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：积分球附件支持8～70入射角测量
CoherentAviaUltra激光器：输出波长355-1064nm,最大单脉冲能量1J