检测项目

表面粗糙度检测:Ra≤0.05μm,Rz≤0.4μm(接触式测量)

同轴度公差检测:径向跳动≤2μm/200mm,轴向偏摆≤3μm

表面硬度检测:HRC 50-55(洛氏硬度)或HV 600-650(维氏硬度)

动态偏摆测试:转速3000rpm下全跳动量≤5μm

耐腐蚀性检测:中性盐雾试验≥240h(GB/T 10125)

检测范围

不锈钢镜面轴:马氏体不锈钢(如420/440C)用于精密轴承系统

铝合金硬质氧化轴:6061-T6阳极氧化处理,适用于光学转台

钛合金超精轴:TC4材质,用于医疗CT设备旋转机构

陶瓷复合材料轴:氮化硅(Si3N4)材质,应用在真空环境转轴

高分子聚合物轴:PEEK+碳纤维增强材料,用于半导体晶圆传输系统

检测方法

ISO 4287:1997 表面粗糙度轮廓法测量

GB/T 1958-2017 产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差检测

ASTM E18-22 金属材料洛氏硬度标准试验方法

ISO 1940-1:2018 机械振动-刚性转子的平衡品质要求

GB/T 228.1-2021 金属材料拉伸试验方法

检测设备

泰勒霍普森Surfcom 5000系列表面轮廓仪:分辨率0.8nm,满足ISO 4287标准

海克斯康Global Advantage三坐标测量机:空间测量精度(1.9+L/250)μm

岛津HMV-G21ST显微维氏硬度计:载荷范围10gf-2kgf,符合ASTM E384

申克V6动平衡机:最小可达剩余不平衡量0.1g·mm/kg

雷尼绍XL-80激光干涉仪:线性测量分辨率1nm,动态测量带宽50kHz