检测项目

1.平面度检测：法兰接触面平面度误差≤0.02mm（激光干涉仪测量）

2.同轴度检测：波导孔与安装孔同轴度偏差≤0.05mm（三坐标测量）

3.表面粗糙度：Ra值控制在0.4-0.8μm（轮廓仪测试）

4.镀层厚度：金镀层厚度1.27-2.54μm（X射线荧光光谱法）

5.气密性测试：氦质谱检漏漏率≤110⁻⁸Pam/s

6.材料硬度：铝合金法兰HV硬度80-120（维氏硬度计）

7.驻波比测试：工作频段内VSWR≤1.15

检测范围

1.铝合金法兰（6061-T6/5052-H32）

2.铜合金法兰（C10100/C11000无氧铜）

3.不锈钢法兰（304/316L奥氏体钢）

4.覆金层法兰（化学镀镍+电镀金）

5.微波复合介质法兰（PTFE/陶瓷填充材料）

6.异形结构法兰（矩形/圆形/脊形波导接口）

检测方法

1.GB/T1800.1-2020产品几何技术规范（GPS）线性尺寸公差

2.ISO1101:2017几何公差标注与验证规范

3.ASTMB488-18工程部件电镀金层标准规范

4.GB/T11336-2021直线度误差检测方法

5.IEC60153-2:2020金属波导法兰测试规范

6.ASTME112-13平均晶粒度测定方法

7.GB/T13811-2018高频介质基板介电性能测试

检测设备

1.HexagonGlobalClassic07.10.07三坐标测量机（空间精度1.5μm+L/250）

2.ZygoVerifireMST激光干涉仪（平面度测量分辨率0.01μm）

3.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪（Ra测量范围0.05-10μm）

4.FischerXDV-SDDX射线测厚仪（镀层厚度分辨率0.01μm）

5.AgilentN5227A矢量网络分析仪（频率范围10MHz-67GHz）

6.LeyboldPhoenixL300i氦质谱检漏仪（灵敏度510⁻Pam/s）

7.WilsonWolpert930N维氏硬度计（载荷范围10gf-100kgf）

8KeysightE4991B阻抗分析仪（1MHz-3GHz介电常数测试）

9OlympusOmniscanMX2超声探伤仪（缺陷检出率≥Φ0.3mm）

10SartoriusCPA225D电子天平（称量精度0.01mg腐蚀失重测试）