真空诊断室检测

检测项目

1.真空度测量：覆盖1E-3Pa至1E-7Pa量程范围的全压力测试

2.泄漏率检测：灵敏度达1E-10Pam/s的氦质谱检漏

3.残余气体分析：四极杆质谱仪实现1E-6Torr级气体成分定量

4.材料放气率测定：依据ASTME1559标准测量μg/(cmh)级脱气量

5.渗透率测试：针对高分子材料进行1E-15cm(STP)cm/(cmsPa)级气体渗透系数测定

检测范围

1.半导体制造用高纯硅片及腔体组件

2.航天器推进系统密封阀门与管路

3.医用直线加速器真空波导装置

4.镀膜设备磁控溅射靶材及基板夹具

5.低温超导系统多层绝热复合材料

检测方法

ASTME499：氦质谱真空系统泄漏测试标准方法

ISO3567：真空计校准与比对技术规范

GB/T3163：真空技术术语与图形符号国家标准

GB/T32218：质谱检漏仪性能测试方法

ISO21360：真空泵性能测量标准程序

检测设备

INFICONUL1000氦质谱检漏仪：最小可检漏率5E-12Pam/s

Agilent5977BMSD：质量范围1-1050amu的四极杆质谱系统

LeyboldCTR91：全量程复合真空计（10^5~1E-9mbar）

MKS925B：高精度电容薄膜规（1E-4~1000Torr）

PfeifferVacuumHLT260：热阴极电离规（1E-2~1E-10mbar）

EdwardsXDS35i：干式涡旋分子泵（抽速35L/s）

VarianStarCell：石英晶体微量天平（分辨率0.1μg/cm）

BrooksSLA5850：质量流量控制器（精度0.5%RD）

KurtJ.LeskerKJLC1500：磁悬浮转子真空计（1E-3~1E-8Torr）

SRSRGA200：残余气体分析仪（1E-14Torr检测限）