检测项目
纯度分析：六氯二硅烷主成分含量≥99.5%（气相色谱法，GC-FID）
氯含量测定：总氯含量≤0.1%（离子色谱法，IC）
挥发性杂质检测：包括SiHCl3、SiCl4等副产物（GC-MS联用）
水分含量：H2O≤10ppm（卡尔费休库仑法）
密度测定：1.50-1.55g/cm³（25℃, 振蕩管密度计法）
检测范围
半导体级高纯六氯二硅烷原料
有机硅聚合物合成中间体
化学气相沉积（CVD）工艺用前驱体
电子特气混合组分
医药中间体杂质控制样品
检测方法
ASTM E29-20：化学物质纯度测定标准方法
ISO 18473-3:2019：电子特气中金属杂质分析
GB/T 6283-2008：化工产品水分测定通用方法
GB/T 37249-2018：电子工业用六氯二硅烷技术要求
ASTM D6806-02(2020)：气相色谱-质谱联用分析挥发性有机物
检测设备
Agilent 7890B气相色谱仪：配备FID检测器，用于主成分定量分析
Thermo Scientific ICS-6000离子色谱系统：测定氯离子及阴离子杂质
Shimadzu GCMS-QP2020 NX：气相色谱-质谱联用仪，检测痕量有机杂质
METTLER TOLEDO V30卡尔费休水分仪：精度0.1μg水，符合GB/T 6283
Anton Paar DMA 4500M密度计：温度控制±0.01℃，密度分辨率0.0001g/cm³