检测项目
化学成分分析：Ti含量（65-75%）、N含量（25-35%）、杂质元素（O≤0.5%、C≤0.3%）
晶相结构表征：TiN相含量（≥98%）、晶格常数（a=4.24±0.02Å）、择优取向（(111)/(200)峰强比）
涂层厚度测量：0.5-10μm范围精度±5%、界面结合层厚度≤0.2μm
表面形貌分析：粗糙度Ra≤0.1μm、孔隙率＜0.5%、缺陷密度＜3个/cm²
力学性能测试：显微硬度≥2000 HV0.05、结合强度≥50N（划痕法）、摩擦系数≤0.3（载荷5N）
检测范围
物理气相沉积（PVD）涂层材料
半导体器件扩散阻挡层
硬质合金切削工具镀层
光学薄膜干涉涂层
高温合金部件防护层
检测方法
ASTM E1479-2016《惰性气体熔融法测定钛及钛合金中氮含量》
ISO 1463-2021《金属和氧化物覆盖层厚度测量显微镜法》
GB/T 23414-2009《微束分析扫描电镜能谱仪定量分析方法》
ISO 22309:2011《微束分析-能谱法定量分析》
GB/T 4340.1-2009《金属材料维氏硬度试验第1部分:试验方法》
检测设备
Thermo Scientific ARL QUANT'X X射线荧光光谱仪（元素定量分析）
JEOL JSM-IT800扫描电子显微镜（表面形貌与能谱联用）
Bruker DektakXT台阶仪（纳米级厚度测量）
Zygo NewView 9000白光干涉仪（三维表面粗糙度分析）
Wilson Wolpert 930N显微硬度计（高精度压痕测试）