检测项目
氢氟酸浓度检测：测定范围0.1%~70%（w/w），误差±0.5%
游离氟离子含量：检测限0.1mg/L，适用浓度0.5-1000ppm
重金属杂质检测：铅、砷、汞等元素，检测限0.01μg/g
pH值测定：测量范围0-3，精度±0.05pH
腐蚀速率测试：不锈钢/玻璃材料，温度范围20-80℃
检测范围
半导体材料：晶圆清洗液、蚀刻废液、高纯氢氟酸原料
石化产品：催化剂残留液、烷基化反应中间体
玻璃制品：蚀刻工艺液、表面处理溶液
金属材料：钛合金酸洗液、不锈钢钝化液
环境样品：工业废水、废气吸收液、土壤提取液
检测方法
中和滴定法（GB/T 11198.1-2021）：浓度测定标准方法
离子色谱法（ISO 10304-1:2022）：游离氟离子定量分析
ICP-MS法（ASTM D1976-20）：重金属元素痕量检测
电位滴定法（GB/T 9725-2023）：pH值精密测定
失重法（ASTM G31-21）：材料腐蚀速率测试
检测设备
自动滴定仪：梅特勒T5 Excellence，分辨率0.001mL
电感耦合等离子体质谱仪：赛默飞iCAP RQ，检测限0.1ppt
氟离子专用电极：哈希HQ440d，温度补偿0-100℃
恒温腐蚀测试仪：科晶MTI-1700，控温精度±0.1℃
气相色谱-质谱联用仪：安捷伦8890-5977B，可检测挥发性氟化物