检测项目
氦气纯度检测：≥99.999%（体积分数）
水分含量检测：≤5 ppm（露点-76℃）
氧含量检测：≤3 ppm（体积分数）
氢含量检测：≤1 ppm（体积分数）
总烃含量检测：≤0.5 ppm（甲烷当量）
氩气残留检测：≤10 ppm（体积分数）
氮气残留检测：≤5 ppm（体积分数）
检测范围
半导体材料：单晶硅生产保护气
金属焊接：钛合金TIG焊接保护气
医疗设备：MRI超导磁体冷却介质
航空航天：燃料系统泄漏检测介质
科研仪器：气相色谱载气
核工业：反应堆冷却剂纯度监测
检测方法
气相色谱法：ASTM E260、GB/T 8981
质谱分析法：ISO 6974、GB/T 5832.3
激光光谱法：ISO 21438、GB/T 34521
露点测定法：ASTM E337、GB/T 5832.2
氦质谱检漏法：GB/T 15823
化学发光法：ISO 11500
检测设备
Agilent 7890B气相色谱仪：多组分杂质同步检测
Thermo Scientific ISQ 7000质谱仪：ppb级痕量分析
Michell Optidew Vision露点仪：-100℃精度测量
Leybold Phoenix L300i氦检漏仪：5×10⁻¹² mbar·L/s灵敏度
Siemens Ultramat 23红外分析仪：非分光式烃类检测
HORIBA VA-3000激光气体分析仪：原位在线监测系统