检测项目
最大允许漏率：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（动态模式）
泄漏点定位精度：±2mm（示踪气体浓度梯度法）
系统背景信号本底值：≤5×10⁻¹² Pa·m³/s
压力衰减率：0.1Pa/min（静态保压测试）
氦气回收率：≥98%（闭式循环系统）
检测范围
金属密封件：法兰接头、焊接焊缝、阀门壳体
真空设备：分子泵组、低温冷阱、镀膜腔室
半导体组件：刻蚀反应腔、晶圆传输模块
能源装置：核级管道、燃料电池双极板
医疗器械：血液透析器封装、植入器械外壳
检测方法
ASTM E499/E499M-22：质谱仪示踪气体法流程规范
ISO 20486:2017：泄漏量校准用参考漏孔技术要求
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测章节
GB/T 34632-2017：真空技术氦质谱检漏仪校验规程
SJ 21473-2018：军用电子设备氦密封试验方法
检测设备
INFICON HLD4000：四极杆质谱仪，最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s
Agilent VSMR系列：真空箱式自动扫描系统，支持1000L容积测试仓
Leybold PHOENIX L300i：集成双通道传感器，响应时间＜0.5s
Cincinnati Test VG-3：便携式正压检漏仪，流量分辨率0.001sccm
TMEIC LD-8000：高温工况专用探头（-50℃~300℃）