检测项目
氦质谱检漏仪灵敏度校准：基准灵敏度1×10-12 Pa·m³/s
压力衰减测试：测试压力范围0.1-10MPa（绝对压力）
真空箱法漏率测定：背景本底≤5×10-9 mbar·L/s
累积法泄漏量测量：最小可测漏率5×10-7 cc/sec
示踪气体浓度分析：氦气浓度分辨率0.1ppm
检测范围
金属密封件：法兰接头/焊接管道/阀门组件
真空设备：分子泵腔体/低温冷阱/超高真空室
电子元器件：IGBT模块/光电器件封装体
能源装备：燃料电池双极板/储氢罐焊缝
半导体封装材料：陶瓷基板/金属引线框架
检测方法
ASTM E493-22：真空箱法氦质谱检漏标准流程
ISO 20486:2017：示踪气体法泄漏量定量分析规范
GB/T 15823-2019：氦泄漏检测方法国家标准
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测专章
ASTM E1603-19：压力变化法泄漏率计算导则
检测设备
Leybold PHOENIX L300i：双通道质谱仪，最小可检漏率5×10-13 mbar·L/s
Agilent VS Series：四极杆质谱系统，支持10-4-10-12 mbar动态范围
INFICON HLD5000：便携式检漏仪，响应时间＜3秒@1×10-7 mbar·L/s
Pfeiffer ASM 340：全自动测试台集成真空系统与质量流量控制器
Varian 979系列：双级涡轮分子泵系统（抽速≥500L/s）