检测项目
1. 纯度(%)：≥99.999
2. 水分含量(μL/L，≤3)
3. 氧含量(μL/L，≤2)
4. CO+CO₂含量(μL/L，≤1)
5. 总烃含量(μL/L，≤2)
检测范围
1. 高纯氮气N₂：5N~6N级
2. 高纯氩气Ar：4N~5N级
3. 高纯氧气O₂：4N级
4. 高纯氢气H₂：5N级
5. 电子级气体：半导体用
检测方法
1. GB/T 3864-2024 工业氮
2. GB/T 4842-2024 氩气
3. GB/T 3634.2-2024 高纯氢
4. GB/T 14599-2024 高纯氧
5. GB/T 8981-2024 气体中微量水分测定电解法
检测设备
1. 微量水分仪(密析尔S8000)：量程0~1000ppm
2. 微量氧分析仪(莫帝曼PMA3100)：0~100ppm
3. 气相色谱仪(安捷伦7890B)：TCD/FID检测
4. 露点仪(维萨拉DMT143)：-80~+20℃
5. 标准气体钢瓶(国家一级标准物质)
6. 气体减压阀(不锈钢SS-400)
7. 流量计(转子0~5L/min)
8. 管路净化系统(脱氧管/脱水管)
9. 分析天平(0.1mg)：称量辅助
10. 压力表(0~25MPa)：精度0.4级