检测项目
泄漏率测量：分辨率≤1×10⁻¹² Pa·m³/s
真空系统极限压力：≤5×10⁻⁴ Pa
检漏口压力波动：±2% FS（满量程）
氦气回收率：≥95%（循环模式）
响应时间：T90＜3秒（标准工况）
检测范围
真空密封组件：分子泵腔体、低温超导设备
汽车工业：燃料电池堆、高压储氢罐
电子器件：半导体封装外壳、MEMS传感器
医疗设备：血液透析仪管路、人工心肺机
航空航天：推进剂贮箱、舱门密封结构
检测方法
ASTM E499-11(2020)：质谱仪示踪探漏法标准规程
ISO 20485:2017：非破坏性测试-氦泄漏检测方法
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测
GB/T 34632-2017：真空技术 氦质谱检漏仪校准规范
ASME BPVC Section V Art.10：承压设备真空箱法检漏
检测设备
Inficon HLD3000: 双通道质谱分析模块，支持正/负压模式切换
Agilent HDS 3012: 全自动校准系统，集成32位数据采集单元
Leybold PHOENIX L300i+: 磁偏转质谱技术，最小可检漏率5×10⁻¹³ mbar·L/s
Pfeiffer ASM 340 TSN: 涡轮分子泵组配置，支持SNIFFER探头模式
Cincinnati Test TIF 5600-ZX: 多级真空隔离阀设计，符合ISO 17025校准体系