检测项目
氦质谱检漏：泄漏率范围10⁻⁹~10⁻¹² Pa·m³/s
压力衰减测试：压力范围0.1~10 MPa
真空箱法检漏：真空度≤1×10⁻³ Pa
示踪气体浓度分析：SF₆/H₂示踪气体灵敏度0.1 ppm
气泡法目视检测：液体介质黏度≤50 cSt
检测范围
压力容器与管道系统
真空密封器件（如半导体腔体）
汽车燃油系统及空调管路
医疗设备（呼吸机、麻醉机）
航空航天密封舱与推进系统
检测方法
ASTM E499/E1603：氦质谱真空喷吹法
ISO 20486:2017：示踪气体定量校准规范
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测
GB/T 34523-2017：真空技术氦质谱检漏方法
ISO 15848-1:2015：工业阀门微泄漏评定标准
检测设备
INFICON UL1000氦质谱检漏仪: 最小可检漏率5×10⁻¹² Pa·m³/s, 集成自动校准模块。
Agilent 490 Micro GC气相色谱仪: 多通道分析示踪气体, 分辨率±0.05 ppm。
Leybold PHOENIX L300i真空箱系统: 极限真空度5×10⁻⁴ Pa, 支持多工位同步测试。
ATEQ F620压力衰减检漏仪: 量程0~15 bar, 精度±0.05% FS。
Sierra SmartTrak 100质量流量计: 流量范围0.05~500 SLPM, 响应时间≤50 ms。