检测项目

纯度分析:≥99.999%(体积分数)

氧含量:≤0.5 ppm(μL/L)

氮含量:≤1.0 ppm(μL/L)

水分含量:≤1.5 ppm(露点≤-76℃)

总烃含量:≤0.5 ppm(以甲烷计)

检测范围

电子级氩气:半导体芯片制造用超高纯气体(6N级)

工业焊接氩气:TIG/MIG焊接保护气体(4N级)

医疗用氩气:激光手术及低温治疗专用气体

科研级氩气:光谱分析载气与真空系统填充气

混合气体基体:氩-氢/氩-氦混合气主成分分析

检测方法

纯度测定:ASTM D1945-14《气相色谱法分析气体燃料》

氧氮联测:ISO 6143:2001《气体分析-比较法测定组成》

水分检测:GB/T 5832.2-2016《露点法测定微量水分》

烃类分析:GB/T 8984-2008《气相色谱法测定气体中总烃》

杂质总量:ASTM E260-96(2011)《气相色谱通用操作规程》

检测设备

Agilent 7890B气相色谱仪:配备TCD/FID双检测器,实现ppm级杂质定量

Siemens Ultramat 23红外分析仪:专用于O₂/N₂/H₂O连续监测

Michell S8000露点仪:测量范围-100~+20℃,精度±0.5℃

SRI 8610C便携式色谱仪:现场快速筛查总烃及CO/CO₂含量

Systech EC910微量氧分析仪:电化学传感器最低检出限0.01 ppm