检测项目
气体浓度分布：测量精度±0.1ppm（0-1000ppm范围）
流速均匀性：检测分辨率0.01m/s（0.5-30m/s区间）
温度梯度影响：-40℃至300℃环境下的气体扩散系数
压力波动检测：0.1-10MPa压力范围内的气体渗透率
泄漏率测试：最小可检漏率1×10⁻⁹ Pa·m³/s
检测范围
半导体制造用气体扩散膜
高分子材料气体阻隔薄膜
催化剂载体的气体分布均匀性
锂离子电池隔膜透气性
工业过滤材料的压降与通量特性
检测方法
ASTM D3612：密闭空间气体浓度测定标准
ISO 6978：气体扩散系数测定方法
GB/T 10410-2008：燃气成分气相色谱分析法
ASTM E260：气相色谱-质谱联用检测规范
GB/T 34542.3-2018：氢系统泄漏率测试方法
检测设备
Thermo Scientific Model 146i：光离子化检测器（PID），检测限0.1ppb
Agilent 490 Micro GC：四通道微型气相色谱，分析时间＜90秒
MOCON OX-TRAN 2/22：氧气透过率测试仪，精度±0.01cc/m²·day
INFICON HLD6000：氦质谱检漏仪，灵敏度1×10⁻¹² mbar·L/s
Brooks SLA5850：质量流量控制器，控制精度±0.15% F.S.