检测项目
1.电子密度：测量范围110^9~110^12cm^-3，精度5%
2.离子温度：检测区间300~50000K，分辨率0.1eV
3.中性气体分压：量程0.1~1000Pa，误差≤2%FS
4.自由基浓度：可测OH/O/H等基团浓度至ppm级
5.激发态粒子寿命：时间分辨率达10ns级
6.气体纯度：检出限0.01%vol（惰性气体）
检测范围
1.半导体晶圆刻蚀工艺腔体气氛
2.光伏薄膜沉积用SiH4/NH3混合气体
3.医用灭菌设备等离子体反应区
4.工业废气处理低温等离子体系统
5.航天器推进剂电离室工作气体
6.光学镀膜机反应气体离解度
检测方法
ASTME3025-18：射频等离子体诊断标准方法
ISO21438-3:2011：工作场所空气电离辐射检测
GB/T20176-2006：表面化学分析二次离子质谱法
GB/T34826-2017：四极杆质谱分析方法通则
ISO14624-7:2022：航天系统材料洁净度检测规范
ASTMF1394-92(2020)：半导体工艺真空系统检漏
检测设备
1.HidenESPion等离子体诊断系统：配备Langmuir探针和质谱联用模块
2.Agilent8900ICP-MS/MS：三重四极杆质谱仪支持ppq级检测
3.PfeifferVacuumQMG700：四极杆质谱仪（1-100amu）
4.OceanInsightHR4000光谱仪：200-1100nm波长分辨率0.035nm
5.KeysightN9020B信号分析仪：26.5GHz实时频谱分析
6.StanfordResearchSR570电流放大器：低噪声（4pA/√Hz）
7.MKS925B真空计组：量程10^-5~1000Torr全量程覆盖
8.TektronixMDO3104示波器：1GHz带宽带频谱分析