检测项目
尺寸精度检测:
- 平面度公差:≤0.01mm(参照ISO1101)
- 厚度偏差:±0.005mm
- 孔径公差:±0.002mm
- Ra值范围:≤0.1μm
- Rz值范围:≤0.8μm
- 阿基米德法密度:≥3.90g/cm³
- 开孔孔隙率:≤0.5%
- 维氏硬度(HV):≥1500(载荷500g)
- 努氏硬度(HK):≥1600
- 三点弯曲强度:≥300MPa
- 四点弯曲强度:≥350MPa
- CTE值:6.5±0.5×10⁻⁶/K(20-100°C)
- 1MHz频率下介电常数:9.5±0.2
- 损耗角正切:≤0.0002
- 室温热导率:≥30W/m·K
- 氧化铝纯度:≥99.6%
- 杂质含量:Fe≤0.01%,Si≤0.02%
- KIC值:≥4.0MPa·m¹/²
检测范围
1.高纯度氧化铝基板:用于高频电路封装,检测重点为介电常数和热稳定性
2.多层陶瓷基板:集成内部电路层,检测包括层间结合强度和热膨胀匹配
3.厚膜电路基板:适用于电阻印刷,检测表面粗糙度和导体附着性
4.薄膜电路基板:用于微电子封装,检测尺寸精度和介电损耗
5.散热基板:应用于功率器件,检测热导率和热循环性能
6.绝缘基板:用于高压隔离,检测击穿电压(≥15kV/mm)和绝缘电阻
7.传感器基板:集成传感元件,检测化学稳定性和表面平整度
8.射频基板:用于微波通信,检测高频介电特性和信号损耗
9.封装外壳基板:结合金属化层,检测气密性和机械强度
10.定制异形基板:非标准几何形状,检测边缘完整性和应力分布
检测方法
国际标准:
- ASTMC1327-22:陶瓷硬度测试(维氏和努氏法)
- ISO14704:2016:精细陶瓷抗弯强度测试方法
- ASTME1461-22:热扩散率与热导率激光闪射法
- ISO17561:2020:表面粗糙度参数测量
- ASTMD150-22:介电常数和损耗测试
- GB/T6569-2021:精细陶瓷弯曲强度试验方法
- GB/T16535-2020:电子陶瓷材料密度测试
- GB/T5594.3-2022:电子元器件用陶瓷材料热膨胀系数测定
- GB/T1693-2021:硫化橡胶介电常数和介质损耗角正切测定
- GB/T9966.1-2020:天然石材试验方法(应用于陶瓷尺寸公差)
检测设备
1.坐标测量机:MitutoyoCRYSTA-ApexS574,功能:三维尺寸精度测量,分辨率0.1μm
2.表面粗糙度仪:TaylorHobsonFormTalysurfi-Series,功能:表面Ra/Rz值检测,范围0.01-100μm
3.万能材料试验机:INSTRON5967,功能:抗弯强度测试,载荷范围0.01-50kN
4.激光热导仪:NetzschLFA467,功能:热导率和热扩散率测定,温度范围-120-2000°C
5.维氏硬度计:WilsonHardnessTukon2500,功能:陶瓷硬度测试,载荷1g-50kg
6.介电性能测试仪:AgilentE4991A,功能:介电常数和损耗测量,频率1MHz-3GHz
7.密度分析仪:AccuPycII1340,功能:阿基米德法密度检测,精度±0.0001g/cm³
8.X射线衍射仪:RigakuSmartLab,功能:化学组成和晶体结构分析,检测限0.01%
9.热膨胀仪:NetzschDIL402Expedis,功能:热膨胀系数测定,温度范围-180-1550°C
10.金相显微镜:OlympusGX71,功能:孔隙率和断裂面观察,放大倍数50-1000X