检测项目
1.弹性模量：测量范围0.1-100GPa，精度0.5%
2.抗拉强度：测试范围10-500MPa，加载速率0.5-50mm/min
3.热膨胀系数：温度范围-50℃至1200℃，分辨率0.110⁻⁶/℃
4.断裂韧性：KIC值测定范围0.5-10MPam/
5.耐化学腐蚀性：酸碱环境（pH1-14）浸泡48小时后的质量损失率
检测范围
1.石英玻璃制品（光掩模基板、反应腔体衬管）
2.半导体用高纯石英坩埚（纯度≥99.99%）
3.光纤预制棒用合成石英管（外径公差0.05mm）
4.紫外光学透镜（透过率@200nm≥90%）
5.高温炉观察窗石英玻璃（耐温≥1100℃）
检测方法
1.ASTMC623：圆柱试样三点弯曲法测弹性模量
2.ISO13124：激光闪射法测定热扩散系数
3.GB/T10700-2006：环状试样双轴强度测试
4.GB/T16535-2008：压痕法测量断裂韧性
5.ISO17742：高温蠕变试验（1000℃/100h持续载荷）
检测设备
1.Instron5967万能材料试验机：最大载荷50kN，配备高温炉（1200℃）
2.NetzschDIL402C热膨胀仪：分辨率0.1nm，升温速率0.001-50K/min
3.ShimadzuUV-3600分光光度计：波长范围185-3300nm
4.ZwickRoell硬度计：维氏硬度HV0.1-HV50测量模块
5.MalvernMastersizer3000激光粒度仪：粒径分析范围0.01-3500μm
6.Agilent7900ICP-MS：元素检出限≤0.01ppb
7.FEIQuanta650FEG扫描电镜：分辨率1nm@30kV
8.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪：角度精度0.0001
9.TAInstrumentsQ800动态机械分析仪：频率范围0.01-200Hz
10.MettlerToledoTGA/DSC同步热分析仪：温度精度0.1℃