检测项目
1.化学成分分析：SiO₂纯度≥99.9%，Al₂O₃≤0.01%，Fe₂O₃≤0.0005%，Na₂O+K₂O≤0.002%
2.热膨胀系数测试：20-1000℃范围内α≤5.510⁻⁷/℃，波动值≤0.310⁻⁷/℃
3.光学性能检测：紫外透过率（200nm）≥85%，红外吸收峰（2.7μm）≤3dB/cm
4.羟基含量测定：OH⁻浓度分级控制（TypeI≤10ppm,TypeII≤150ppm,TypeIII≥150ppm）
5.密度与气孔率：表观密度≥2.20g/cm，闭口气孔率≤0.1%，显气孔率≤0.05%
检测范围
1.半导体级单晶硅生长用石英坩埚
2.深紫外光刻机光学系统石英透镜基材
3.光伏行业多晶硅铸锭用方形石英坩埚
4.高功率激光设备用石英窗口片
5.特种玻璃成型用石英模具组件
检测方法
ASTME228-17《线性热膨胀系数测试标准方法》
ISO14703:2022《精细陶瓷-表面缺陷定量分析方法》
GB/T12442-2021《石英玻璃羟基含量测定方法》
ISO10136-7:2016《玻璃化学分析-ICP-OES法测定微量元素》
GB/T25915.1-2021《洁净室及相关受控环境-粒子浓度监测》
检测设备
1.X射线荧光光谱仪（XRF-2000）：实现ppm级元素定量分析
2.高温热膨胀仪（TMA402F3）：测量20-1600℃线性膨胀行为
3.FTIR光谱仪（NicoletiS50）：检测2-25μm波段红外吸收特性
4.激光粒度分析仪（Mastersizer3000）：表征原料粉末粒径分布D50=50-150μm
5.UV-Vis分光光度计（Lambda950）：测量190-3300nm透射光谱曲线
6.氦气比重计（AccuPycII1340）：测定真密度精度0.02%
7.扫描电镜（SEMSU5000）：表面缺陷分辨率达1nm
8.ICP-OES光谱仪（iCAPPRO）：检出限低至ppb级金属杂质分析
9.激光诱导击穿光谱仪（LIBSTracer）：实现原位快速成分筛查
10.X射线衍射仪（XRDSmartLab）：晶体相含量分析精度0.1%