检测项目
热膨胀系数（CTE）：测量范围-50℃至1200℃，α值≤0.55×10⁻⁶/℃
光学均匀性：波前畸变≤λ/8@632.8nm，折射率不均匀性＜5×10⁻⁶
羟基含量：采用FTIR光谱法，检测限达0.1ppm-OH
表面粗糙度：Ra≤0.5nm（原子力显微镜测定）
抗热震性：急冷温差≥800℃（ASTM C484标准）
透光率：190-2500nm光谱范围，紫外区≥90%
检测范围
半导体制造用石英扩散管（φ200-450mm）
光刻机光学系统石英窗口（平面度λ/20）
高温炉观察窗用耐热石英管（耐温1700℃）
激光器谐振腔石英基片（表面光洁度10/5）
光伏单晶炉石英坩埚（羟基含量≤30ppm）
检测方法
热膨胀系数：ASTM E228-17激光干涉法
光学均匀性：ISO 10109-5双光路干涉测量
羟基含量：ASTM E2224-19傅里叶变换红外光谱法
表面缺陷：ISO 14952-3白光共聚焦显微镜法
耐酸性：DIN 12116沸腾酸侵蚀试验（HF:HCl=1:3）
检测设备
热膨胀分析仪：NETZSCH DIL 402 Expedis，温度分辨率0.1℃
激光干涉仪：ZYGO Verifire MST 12"口径，精度λ/1000
红外光谱仪：Bruker VERTEX 80v，光谱分辨率0.2cm⁻¹
原子力显微镜：Bruker Dimension Icon，Z轴分辨率0.05nm
高温热震试验箱：Thermcraft SFL-1700X，最大温变速率1000℃/min
技术优势
CNAS认可实验室（注册号详情请咨询工程师5），检测数据国际互认
配备ISO/IEC 17025:2017标准质量体系
CMA资质认定（证书编号详情请咨询工程师）
自主开发石英材料数据库，含2000+组比对数据
拥有SEMI认证洁净实验室（Class 100）