检测项目
1.无机元素杂质分析：重金属元素含量（如钠、钾、铁、铜、镍、铬、锌等）、碱金属元素含量、过渡金属元素含量、稀土元素含量、总金属杂质筛查。
2.有机污染物分析：光刻胶残留物、有机溶剂残留、塑封料析出物、单体与低聚物分析、增塑剂与抗氧化剂检测。
3.颗粒污染物检测：晶圆表面颗粒计数与尺寸分布、洁净室环境颗粒监控、工艺液体中颗粒物分析、封装体内外来颗粒鉴定。
4.表面污染物分析：表面有机碳总量、表面离子污染度（氯离子、氟离子、硫酸根离子等）、表面金属污染物分布、表面氧化物与氮化物分析。
5.气体杂质分析：封装内部水汽含量、氧气含量、氢气含量、二氧化碳含量、惰性气体纯度分析。
6.电活性杂质分析：深能级瞬态谱分析、少数载流子寿命测量、表面态密度分析、界面陷阱电荷检测。
7.材料纯度与缺陷分析：高纯硅材料纯度检测、外延层杂质浓度分布、晶体缺陷与位错密度观测、掺杂均匀性分析。
8.薄膜层杂质分析：介质膜中重金属污染、金属互连层中的杂质扩散、阻挡层完整性评估、界面混合与反应产物鉴定。
9.腐蚀性离子检测：氯离子含量、氟离子含量、溴离子含量、硝酸根离子含量、铵离子含量。
10.放射性元素筛查：铀、钍等α粒子发射体含量检测，确保材料符合低放射性要求。
检测范围
硅抛光片、外延硅片、锗硅外延片、砷化镓晶圆、氮化镓外延片、光刻胶与显影液、化学机械抛光液、高纯溅射靶材、金属键合丝、引线框架、陶瓷封装外壳、塑封环氧树脂、芯片粘接材料、晶圆背面涂层、焊球与焊膏、清洗用超纯水与化学品、洁净室环境气体、工艺腔体残留物
检测设备
1.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量及超痕量无机元素的精准定量分析，具备极高的灵敏度与宽动态范围。
2.气相色谱-质谱联用仪：用于复杂有机混合物的分离与定性定量分析，特别适用于挥发性与半挥发性有机污染物鉴定。
3.扫描电子显微镜与能谱仪：用于微观形貌观察与微区元素成分分析，可定位并分析表面颗粒及污染物成分。
4.二次离子质谱仪：用于材料表面及深度方向的元素与分子杂质分布分析，具有极高的表面灵敏度与深度分辨率。
5.全反射X射线荧光光谱仪：专门用于硅片等光滑表面痕量金属污染的无损、快速、高灵敏度分析。
6.激光散射式颗粒计数器：用于液体及气体中微小颗粒的实时在线计数与粒径分布测量。
7.离子色谱仪：用于样品中阴离子、阳离子及有机酸等可电离杂质的分离与定量检测。
8.热脱附-气相色谱质谱联用系统：用于材料中挥发性及半挥发性有机化合物的释放特性与总量分析。
9.傅里叶变换红外光谱仪：用于有机官能团、薄膜组成及部分无机污染物的定性分析与鉴定。
10.放射性低本底α/β测量仪：用于半导体材料中极低水平放射性元素活度的精确测量。