检测项目
泄漏率测定：灵敏度1×10⁻¹² mbar·L/s至1×10⁻⁴ mbar·L/s
压力耐受测试：真空环境（≤5×10⁻³ mbar）至正压（10 bar）
渗透路径定位：空间分辨率≤0.1 mm
循环寿命验证：温度交变范围-70℃~+150℃
多组分混合气体干扰分析：氦气浓度阈值≥95%
检测范围
金属材料：铝合金焊接件、钛合金压力容器、不锈钢管路系统
高分子材料：橡胶密封圈、氟塑料膜材、复合绝缘层
电子元件：半导体封装体、锂电池外壳、真空继电器
医疗器械：血液透析器、人工心脏瓣膜、无菌包装系统
能源装备：燃料电池双极板、LNG储罐内胆、核反应堆冷却回路
检测方法
ASTM E499/E499M-22：真空模式下氦质谱检漏标准规程
ISO 20486:2017：示踪气体法泄漏量测量不确定度评定方法
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测章节
GB 4208-2017：外壳防护等级（IP代码）附录B氦检法实施规范
ASME BPVC Section V Article 10：承压设备氦检验收准则
检测设备
Pfeiffer ASM 340：四极杆质谱仪，最小可检漏率5×10⁻¹³ mbar·L/s
INFICON ELT3000：双通道检漏系统，支持正/负压双向测试模式
Agilent VS Series：集成自动校准模块，量程覆盖1×10⁻¹²~1×10⁻² mbar·L/s