检测项目

表面粗糙度：Ra值范围0.01-1.0μm，Rz值范围0.1-10μm

晶粒尺寸分布：检测范围0.5-50μm，统计D10/D50/D90值

表面缺陷密度：检测直径≥0.1μm的颗粒物及划痕，缺陷密度≤5个/cm²

表面清洁度：残留物检测限0.1μg/cm²，元素分析精度±0.01%

功能层厚度：测量范围10nm-500μm，分辨率±1nm

检测范围

单晶硅基板：用于光伏电池和集成电路制造

多晶硅铸锭：太阳能级多晶硅质量控制

金属合金晶种：高温合金定向凝固基底材料

半导体化合物晶圆：GaAs、GaN等III-V族化合物

工业陶瓷晶种：氧化铝、氮化硅等结构陶瓷基板

检测方法

表面形貌分析：ASTM E112（晶粒度测定），GB/T 1031（表面粗糙度）

缺陷检测：ISO 14644-1洁净度分级，GB/T 2828.1抽样标准

元素成分分析：ISO 14706表面元素分析，GB/T 17359能谱法

薄膜厚度测量：ASTM B748接触式测量，ISO 2178非接触磁性法

三维轮廓重建：ISO 25178表面纹理标准，GB/T 29505激光干涉法

检测设备

Talysurf CCI Lite：非接触式三维表面轮廓仪，垂直分辨率0.01nm

FEI Nova NanoSEM 450：场发射扫描电镜，分辨率1.0nm@15kV

Bruker ContourGT-X8：白光干涉仪，扫描范围100x100x10mm

Olympus LEXT OLS5000：激光共聚焦显微镜，405nm激光光源

Thermo Scientific K-Alpha+：X射线光电子能谱仪，检测深度<10nm

Hitachi EA1000AX：X射线荧光光谱仪，元素检测范围B4C-U92

Keyence VHX-7000：数字显微系统，5000万像素CMOS传感器