检测项目

输出波长范围：190nm-10.6μm（紫外至远红外波段）

功率稳定性：±1.5%（连续模式下24小时波动值）

光束质量因子：M²≤1.3（基于ISO 11146标准测量）

脉冲宽度精度：±5fs（飞秒级激光系统）

光谱纯度：≥99.8%（主峰能量占比）

检测范围

半导体材料：GaAs、InP基片表面处理层

光学薄膜：增透膜/高反膜（厚度50-500nm）

气体介质：CO₂/N₂/O₂混合气体配比体系

聚合物材料：聚酰亚胺光刻胶（厚度1-10μm）

金属材料：铜/铝合金微结构加工件

检测方法

ASTM E2848-19：激光功率稳定性测试规程

ISO 11554:2017：光学系统激光束功率测量方法

GB/T 13384-2008：激光辐射参数测试方法通则

ISO 11146-1:2021：激光束宽度与发散角测定

GB/T 31359-2015：脉冲激光时域特性测量规范

检测设备

光谱分析仪：Yokogawa AQ6370D（波长分辨率0.02nm）

激光功率计：Ophir Vega（最大量程30kW）

光束质量分析仪：Spiricon M2-200（CCD分辨率1920×1200）

高速示波器：Keysight DSOX92504A（带宽25GHz）

环境试验箱：ESPEC PL-3KPH（温控精度±0.5℃）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与分子激光器检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。