检测项目
平面度误差：测量表面与理想平面的最大偏离值（0.001-0.05mm）
垂直度偏差：轴线/面与基准面的正交性误差（±0.02°）
阶梯高度差：相邻台阶面的高度差异（±0.005-0.1mm）
平行面间距：两平行表面间最小距离波动量（±0.003mm）
轮廓线波动量：表面轮廓线相对理论曲线的峰谷差值（Ra 0.1-6.3μm）
检测范围
金属材料：精密机械导轨、航空发动机叶片、半导体引线框架
复合材料：碳纤维层压板、陶瓷基复合装甲板
光学元件：菲涅尔透镜阵列、光栅尺刻线面
电子组件：PCB电路板焊盘群、芯片封装基座
模具部件：注塑模具分型面、压铸模顶针定位面
检测方法
平面度检测：ISO 12781-2011《几何产品规范(GPS) 平面度》、GB/T 11337-2004《平面度误差检测》
垂直度评定：ASTM E177-14《垂直度测量标准实践》、GB/T 1958-2017《产品几何量技术规范(GPS) 形状和位置公差 检测规定》
非接触扫描：ISO 25178-2:2022《表面纹理:区域法》、GB/T 33523.601-2017《三维表面结构 第601部分:标称特性》
接触式测量：ASTM E1155-20《采用F数系统的地面平整度测试方法》、JJG 201-2018《指示类量具检定规程》
激光干涉法：ISO/TR 230-11:2018《机床检验通则 第11部分:激光干涉测量》、GB/T 17421.2-2016《机床检验通则 第2部分:数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定》
检测设备
三坐标测量机：Mitutoyo CMM Crysta-Apex S系列（空间精度±0.6+L/400μm）
激光干涉仪：Keysight 5530动态校准仪（分辨率0.1nm）
>白光干涉仪：Zygo NewView 9000（垂直分辨率0.1nm）
>精密轮廓仪：Taylor Hobson Form Talysurf i系列（测力0.1-15mN可调）
>全自动影像仪：OGP SmartScope ZIP 250（光学放大倍率50X-400X）