检测项目
电极间距精度：测量间距偏差≤±0.05mm
表面平整度：Ra值≤0.8μm（接触式探针法）
导电层厚度：镀层厚度10-200μm（X射线荧光法）
电阻均匀性：面电阻波动≤5%（四探针法）
热膨胀系数：CTE≤8×10⁻⁶/℃（-40~150℃）
检测范围
锂离子电池正/负极片
燃料电池双极板
超级电容器集流体
电解槽金属电极
半导体溅射靶材
检测方法
ASTM B214-16：金属粉末筛分粒度分析
ISO 1853:2018：导电橡胶电阻率测定
GB/T 24533-2019：锂离子电池石墨负极材料
GB/T 17722-2014：金属覆盖层厚度测量
IEC 62374:2007：半导体器件电压-温度测试
检测设备
Mitutoyo Crysta-Apex S系列三坐标测量机（三维尺寸测量）
Keysight B2902A精密源表（微欧级电阻测试）
Bruker D8 ADVANCE X射线衍射仪（晶体结构分析）
Hitachi SU5000场发射电镜（表面形貌观测）
Netzsch DIL402C热膨胀仪（CTE精确测定）