检测项目
光敏度:测量曝光能量阈值(10-500 mJ/cm²)
分辨率:评估最小可成像线宽(0.1-10 μm)
热稳定性:测定分解温度(200-400℃)及玻璃化转变温度
耐化学性:测试酸/碱溶液(pH 1-14)浸泡后的形变率
机械性能:包含拉伸强度(5-100 MPa)和断裂伸长率(10-300%)
检测范围
半导体用正/负性光刻胶
印刷电路板用液态光致抗蚀剂
UV固化型光学涂层材料
柔性显示基材用感光聚酰亚胺
3D打印用光敏树脂体系
检测方法
ISO 11358-1:2022 热重分析法测定分解温度
ASTM D4364-21 紫外曝光能量响应测试规程
GB/T 1723-2020 旋转粘度计法测定流变特性
JIS K5600-7-3:2021 耐化学试剂浸泡试验法
GB/T 1040.2-2022 塑料拉伸性能试验方法
检测设备
PerkinElmer Lambda 950分光光度计:光谱响应测试(200-2500 nm)
Malvern Kinexus Ultra+流变仪:动态粘度与剪切模量分析
TA Instruments Q800动态力学分析仪:Tg与储能模量测定
Carl Zeiss Axio Imager M2m金相显微镜:微观形貌与缺陷观测
SUSS MicroTec MA8双面对准曝光机:图形分辨率验证系统