检测项目

光敏度:测量曝光能量阈值(10-500 mJ/cm²)

分辨率:评估最小可成像线宽(0.1-10 μm)

热稳定性:测定分解温度(200-400℃)及玻璃化转变温度

耐化学性:测试酸/碱溶液(pH 1-14)浸泡后的形变率

机械性能:包含拉伸强度(5-100 MPa)和断裂伸长率(10-300%)

检测范围

半导体用正/负性光刻胶

印刷电路板用液态光致抗蚀剂

UV固化型光学涂层材料

柔性显示基材用感光聚酰亚胺

3D打印用光敏树脂体系

检测方法

ISO 11358-1:2022 热重分析法测定分解温度

ASTM D4364-21 紫外曝光能量响应测试规程

GB/T 1723-2020 旋转粘度计法测定流变特性

JIS K5600-7-3:2021 耐化学试剂浸泡试验法

GB/T 1040.2-2022 塑料拉伸性能试验方法

检测设备

PerkinElmer Lambda 950分光光度计:光谱响应测试(200-2500 nm)

Malvern Kinexus Ultra+流变仪:动态粘度与剪切模量分析

TA Instruments Q800动态力学分析仪:Tg与储能模量测定

Carl Zeiss Axio Imager M2m金相显微镜:微观形貌与缺陷观测

SUSS MicroTec MA8双面对准曝光机:图形分辨率验证系统