检测项目

1.线间距精度检测：测量范围0.1-500μm，分辨率0.05μm

2.线宽均匀性检测：允许偏差≤1.5%（基准值≥10μm）

3.边缘粗糙度分析：Ra值≤0.02μm（光学级表面）

4.层间结合强度测试：剥离力≥8N/mm（ASTMD903标准）

5.热膨胀系数匹配性：ΔCTE≤1.510⁻⁶/℃（-40℃~150℃）

检测范围

1.金属基双线结构：铜/铝导线、合金键合丝

2.高分子复合双线：柔性电路板导电线路

3.半导体光刻图形：晶圆级互连线路

4.光学衍射元件：全息防伪双线结构

5.陶瓷基厚膜电路：丝网印刷导电双线

检测方法

1.ASTMB748-90(2021)：扫描电镜法测量线宽及间距

2.ISO14606:2015：临界尺寸扫描电镜(CD-SEM)校准规范

3.GB/T16594-2008：微米级长度SEM测量方法通则

4.ISO14978:2018：几何量测设备通用验收标准

5.GB/T3505-2009：表面粗糙度参数及其数值规范

检测设备

1.HitachiSU5000场发射扫描电镜：配备BSE探测器，实现5nm分辨率形貌分析

2.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm的3D轮廓测量

3.KLATencorP-7profiler：具备0.6nmRMS重复精度的表面粗糙度测试

4.ZeissAxioCSM700共聚焦显微镜：支持ISO25178标准的微区形貌重建

5.ShimadzuMCT-2100微力试验机：最小载荷0.01N的剥离强度测试

6.Agilent5500AFM原子力显微镜：实现亚纳米级表面特征解析

7.ThermoFisherHeliosG4PFIB双束电镜：支持截面制备与元素分析联用

8.KeyenceVHX-7000数字显微镜：20μm~200mm跨尺度观测系统

9.MitutoyoQuickVisionPro影像仪：配备激光辅助对焦的二维尺寸测量

10.Instron5944微力材料试验机：符合ISO527标准的拉伸性能测试

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与分离双重线检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。