检测项目
1.极限真空度：测量系统在稳定状态下达到的最低压力值（10^3Pa至10^2Pa）
2.泄漏率：采用氦质谱法测定系统漏率（≤110^-4mbarL/s）
3.抽气速率：记录单位时间内泵组抽除气体体积（m/h）
4.残余气体分析：定量检测H₂O、O₂、N₂等气体成分（ppm级精度）
5.系统压升率：关闭抽气单元后压力变化速率（≤0.5Pa/min）
检测范围
1.金属密封件：法兰、阀门等承压部件气密性验证
2.高分子材料：橡胶密封圈透气率与耐压形变测试
3.真空镀膜设备：镀膜腔体基础真空度与工艺气体残留量测定
4.低温容器：液氮/液氦存储装置绝热层真空维持能力评估
5.电子元器件：继电器、传感器等真空封装可靠性测试
检测方法
ASTME493-06(2020)：静态升压法测定真空系统泄漏率
ISO3567:2011：真空泵性能测试规范（单级旋片泵/罗茨泵）
GB/T3163-2007：真空技术术语与图形符号基础标准
GB/T6070-2007：真空法兰连接件泄漏率测试方法
ISO1607-1:1993：容积真空泵抽速测量规程（粗真空段）
检测设备
1.ZJ-54D型旋片真空泵：基础抽气单元（极限压力510^2Pa）
2.PTIQ-Mass250G氦质谱检漏仪：灵敏度110^-12mbarL/s
3.INFICONCDG025D电容薄膜规：量程110^5Pa至110^-1Pa
4.Agilent490MicroGC：四通道微型气相色谱仪（气体成分分析）
5.LeyboldThermoSensorTTR91N：宽量程复合真空计（10^5Pa至10^-6Pa）
6.EdwardsXDS35i干式涡旋泵：无油抽气系统（极限压力310^-2mbar）
7.PfeifferHPM723电离规：高精度压力测量模块（10^-3Pa至10^-7Pa）
8.MKS925B压升率测试仪：自动记录压力变化曲线（分辨率0.01Pa/s）
9.VarianSD-300检漏系统：正压/负压双模式泄漏检测平台
10.KurtJ.LeskerA-302-K转轴密封测试台：动态密封件摩擦扭矩与漏率同步监测装置