检测项目

1.膜层厚度测量：采用非接触式椭偏仪检测10nm-10μm范围厚度误差（2nm）

2.折射率测定：光谱反射法测量380-2500nm波段折射率精度0.002

3.透光率测试：依据ISO9050标准测量400-700nm可见光透过率偏差≤0.5%

4.附着力评估：划格法测试符合ASTMD3359B级标准（3M胶带剥离无脱落）

5.耐腐蚀性检验：盐雾试验按GB/T10125执行500小时无起泡/剥落

6.表面粗糙度分析：原子力显微镜测量Ra值≤0.5nm（扫描范围1010μm）

检测范围

1.光学镀膜：包含增透膜、分光膜、滤光片等光学元件功能层

2.半导体封装膜：晶圆级封装用SiNx/SiO₂复合介质层

3.光伏薄膜：CIGS/CdTe太阳能电池缓冲层与窗口层

4.柔性显示膜：OLED器件中Al₂O₃阻水氧薄膜

5.防反射涂层：AR玻璃表面多层MgF₂/TiO₂镀层

检测方法

1.ASTME903-20《材料太阳吸收率与透射率测试标准》

2.ISO14782-2017《塑料材料雾度与透光率测定方法》

3.GB/T26323-2010《色漆和清漆薄膜厚度的无损测量》

4.ISO9227-2022《人造气氛腐蚀试验盐雾试验》

5.ASTMF1048-2021《集成电路介质层击穿电压测试规范》

检测设备

1.J.A.WoollamM-2000椭偏仪：支持190-1700nm宽光谱薄膜分析

2.PerkinElmerLambda1050分光光度计：波长精度0.08nm

3.BrukerDektakXT轮廓仪：垂直分辨率0.1

4.Keysight5500AFM原子力显微镜：扫描精度0.1nmXYZ方向

5.Taber7100线性摩擦试验机：符合ISO10545摩擦测试标准

6.ThermoScientificESCALABXi+XPS能谱仪：元素分析精度0.1at%

7.Q-LabQ-FOGCRH盐雾箱：温控精度1℃（符合ASTMB117）

8.Instron5944万能材料试验机：载荷分辨率0.001N

9.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm

10.Agilent4156C半导体参数分析仪：电流分辨率10fA

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与介质膜检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。