检测项目
1.输出功率稳定性:测量连续/脉冲模式下功率波动范围(2%以内),采样频率≥1kHz
2.光束质量因子(M):采用ISO11146标准测试M值(典型值≤1.3)
3.波长精度与漂移:光谱分辨率0.01nm,24小时波长偏移量≤0.5nm
4.脉冲特性分析:脉宽(fs-ns级)、重复频率(1Hz-100MHz)、峰值功率误差≤5%
5.冷却系统效能:温控精度0.5℃,流量计监测冷却液流速(2-10L/min)
检测范围
1.固体激光器:Nd:YAG、钛宝石晶体等增益介质器件
2.光纤激光器:掺镱/铒单模/多模光纤系统
3.半导体激光器:VCSEL、边发射型器件
4.气体激光器:CO₂、氦氖激光管组件
5.超快激光系统:飞秒/皮秒级振荡器与放大器
检测方法
1.ASTME1445-2016:激光功率能量测量规范
2.ISO11146-1:2021:激光束宽度、发散角及M因子测定
3.GB/T15175-2012:固体激光器主要参数测试方法
4.IEC60825-1:2014:激光产品安全等级分类与测试
5.GB/T31359-2015:工业光纤激光器性能试验方法
检测设备
1.光谱分析仪(YOKOGAWAAQ6370D):波长范围350-1750nm,分辨率0.02nm
2.光束质量分析仪(Ophir-SpiriconM2-200):CCD分辨率19201080,动态范围70dB
3.高精度功率计(Gentec-EOPM320E):量程10μW-30kW,响应时间20ns
4.脉冲特性测试系统(HamamatsuC10916):脉宽测量范围200fs-10ms
5.热像仪(FLIRA8580):热灵敏度20mK@30℃,空间分辨率10241024
6.振动测试台(LDSV964):频率范围5-3000Hz,最大载荷200kg
7.恒温恒湿箱(ESPECPL-3KPH):温度范围-70℃~+180℃,湿度控制10-98%RH
8.LCR测试仪(KeysightE4980AL):阻抗测量频率20Hz-2MHz,基本精度0.05%
9.气体分析仪(HORIBAVA-5000):可检测He-Ne混合气体纯度≥99.999%
10.EMI测试系统(R&STS8997):辐射骚扰测试频率9kHz-18GHz