检测项目
1.零点漂移测试：量程10V内漂移量≤0.02%FS/24h
2.线性度误差分析：全量程范围内误差≤0.05%FS
3.接触电阻测量：分辨率达0.1mΩ（1A测试电流）
4.温度系数校准：-40℃~150℃温区内变化率≤5ppm/℃
5.绝缘阻抗测试：DC500V条件下阻抗值≥10^12Ω
检测范围
1.金属薄膜电势计（厚度50nm-5μm）
2.半导体晶圆表面电势（4-12英寸晶圆）
3.高分子绝缘材料（PTFE/PEEK/PEI等）
4.MEMS传感器电极阵列（线宽≥0.5μm）
5.医疗植入物表面改性涂层（HA/TiN/DLC等）
检测方法
ASTMB539-20：导电材料接触电阻四线法测量
ISO1853:2018：导电橡胶体积电阻率测试
GB/T3048.3-2007：电线电缆绝缘电阻试验方法
IEC62631-3-1:2016：介质材料表面电阻测定
GB/T1410-2006：固体绝缘材料体积电阻试验
检测设备
1.Keysight3458A数字万用表：8.5位分辨率直流电压测量
2.Keithley6517B静电计：10^17Ω高阻测量能力
3.TREK347静电电压表：20kV表面电位检测
4.AgilentE4980ALCR表：20Hz-2MHz阻抗分析
5.ESPECPL-3恒温恒湿箱：温控精度0.5℃
6.CascadeSummit12000探针台：12英寸晶圆测试平台
7.HIOKIRM3545微电阻计：0.01μΩ分辨率
8.FLUKE5522A多功能校准器：电压输出1000V
9.ZEM-3热电分析仪：塞贝克系数测量系统
10.ThermoScientificOrionStarA329pH/mV计：2000mV测量范围