二硅化物检测

检测项目

1.化学成分分析：测定MoSi₂、WSi₂等二硅化物的元素含量（Si含量45-65wt%，金属元素误差0.5%）

2.晶体结构表征：XRD分析（2θ=20-80，步长0.02）确定C11b型四方相纯度≥98%

3.热膨胀系数测试：20-1500℃范围内CTE测量（典型值7.2-8.610⁻⁶/K）

4.显微硬度测试：维氏硬度计加载500gf保载15s（HV₀.₅≥1200）

5.高温氧化实验：1200℃静态空气暴露100h后质量变化率≤2mg/cm

检测范围

1.高温防护涂层用二硅化物（MoSi₂基热障涂层）

2.半导体器件栅极材料（WSi₂/TaSi₂薄膜）

3.热电转换材料（CrSi₂基复合材料）

4.陶瓷基复合材料增强相（TiSi₂颗粒）

5.金属间化合物结构件（NbSi₂高温合金）

检测方法

1.ASTME1621-13能量色散X射线光谱法测定元素组成

2.ISO14705:2016高温氧化试验标准程序

3.GB/T223.5-2008硅钼蓝光度法测定硅含量

4.ASTME975-13X射线衍射定量相分析

5.GB/T8362-2018金属材料高温维氏硬度试验

检测设备

1.RigakuSmartLabX射线衍射仪：配备高温附件（RT-1600℃），最小光斑尺寸50μm

2.JEOLJSM-IT800扫描电镜：分辨率1nm，配备OxfordEDS能谱系统

3.NetzschDIL402Expedis热膨胀仪：最高温度1600℃，膨胀分辨率0.125nm

4.ShimadzuHMV-G21显微硬度计：最大载荷2000gf，数字压痕测量系统

5.LecoONH836氧氮氢分析仪：检测下限0.1ppm氧含量

6.PerkinElmerSTA8000同步热分析仪：TGA/DSC同步测量（1600℃）

7.BrukerD8ADVANCEXRD系统：Cu靶Kα辐射（λ=1.5406）

8.Agilent7900ICP-MS：检出限达ppt级元素分析

9.Zwick/RoellZHU250拉力试验机：高温环境箱（1200℃）拉伸测试

10.MalvernMastersizer3000激光粒度仪：粒径分布测量范围0.01-3500μm