局部真空检测

检测项目

1.漏率检测：测量范围110^-9Pam/s至110^-5Pam/s

2.压力维持测试：真空度维持10^-3Pa至10⁵Pa区间稳定性

3.密封面完整性评估：表面粗糙度Ra≤0.8μm条件下的气密性验证

4.残余气体分析：质谱扫描范围1-200amu，检出限≤110^-6mbarL/s

5.温度循环测试：-196℃至350℃交变环境下的真空保持能力

检测范围

1.半导体制造设备：晶圆加工腔室/真空机械手密封组件

2.航空航天部件：推进剂储罐/热防护系统真空隔热层

3.医疗器械：CT球管/直线加速器波导系统

4.新能源装置：锂电干燥箱/燃料电池双极板

5.光学仪器：空间望远镜镜组/激光谐振腔体

检测方法

ASTME493-22静态升压法测定密闭系统泄漏率

ISO3530:2023氦质谱检漏仪校准与操作规范

GB/T32218-2015真空系统动态流量测试方法

ASTMF2338-22包装件真空衰减法密封性测试

GB/T34325-2017真空绝热板导热系数测定规程

检测设备

1.INFICONELT3000氦质谱检漏仪：灵敏度110^-12mbarL/s

2.AgilentVS-MS40四极杆质谱仪：残余气体成分定量分析系统

3.LeyboldTW300分子泵机组：极限真空度510^-7Pa

4.PfeifferHPT200高精度真空计：量程覆盖110^-9至1100mbar

5.EdwardsSTP-450涡轮分子泵：抽速450L/s@10^-3mbar

6.MKS925B微压差传感器：分辨率0.001%满量程精度

7.Varian979电离规：测量范围110^-10至110^-3Torr

8.KurtJ.LeskerAJA-2000磁悬浮转子真空计：非接触式压力监测装置

9.EdwardsTIC系列热偶规管：粗真空段(110^-3至1000mbar)测量单元

10.VacuumDryingOvenBVT-48E：集成温度-真空联控系统的环境模拟箱组

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"局部真空检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。