第一电子透镜检测

检测项目

1.电磁场均匀性：轴向磁场强度偏差≤0.05%，径向梯度误差＜0.3%/mm

2.分辨率极限：线分辨率≥0.1nm（200kV加速电压下）

3.像差系数：球差系数C_s≤0.5mm，色差系数C_c≤1.2mm

4.真空密封性：漏率≤110^-9Pam³/s（氦质谱法）

5.耐辐照稳定性：连续工作500小时束流波动＜0.05%

检测范围

1.透射电子显微镜（TEM）用磁透镜组

2.扫描电子显微镜（SEM）静电聚焦单元

3.粒子加速器四级磁铁组件

4.场发射电子枪阴极透镜模块

5.X射线能谱仪聚焦线圈系统

检测方法

ASTME986-04(2020)：电子光学器件场分布测量规范

ISO16700:2016：微束分析-扫描电镜分辨率校准方法

GB/T28871-2012：电子显微镜用多极磁铁通用技术条件

IEC61336:1996：核仪器用磁铁系统测试规程

GB/T32282-2015：真空技术-质谱检漏仪校准规范

检测设备

1.FEITitan™G260-300：球差校正透射电镜（分辨率0.06nm）

2.ZeissGeminiSEM500：场发射扫描电镜（束流稳定性0.02%）

3.Agilent7890BGC/5977AMSD：氦质谱检漏系统（灵敏度110^-12Pam³/s）

4.Lakeshore475型高斯计：三维磁场测绘（精度0.01%）

5.ThermoScientificNORANSystem7：能谱仪聚焦校准装置（元素分析范围B-U）

6.KeysightB2912A精密源表：高压绝缘测试（0-3kV/10fA分辨率）

7.OmicronUHVSTM/AFM：原子级表面形貌分析（Z轴分辨率0.01nm）

8.BrukerDimensionIconPT：压电力显微镜（电场分布成像）

9.OxfordInstrumentsX-MaxN150：硅漂移探测器（能量分辨率127eV）

10.JEOLJEM-ARM300F：冷场发射透射电镜（加速电压300kV）