检测项目

1.线性精度误差：测量行程内最大偏差值（0.005mm/m）

2.重复定位精度：连续10次测量的标准差（≤1μm）

3.信号周期均匀性：栅距误差（0.2μm/50mm）

4.温度特性：-20℃~+60℃范围内的热膨胀系数（≤1.5ppm/℃）

5.抗干扰性能：50Hz工频干扰下的信号波动（≤0.3μm）

检测范围

1.金属基磁栅尺（碳钢/不锈钢基体）

2.玻璃基磁栅尺（硼硅酸盐玻璃基板）

3.薄膜型磁栅带（聚酰亚胺复合材质）

4.封闭式磁栅传感器组件

5.旋转磁栅编码器系统

检测方法

1.ISO230-2:2014《机床检验通则》位移测量系统验证

2.GB/T17421.2-2016《机床检验条件》线性轴动态特性测试

3.ASTME2309-05(2020)磁性位移传感器校准规程

4.JJF1308-2011磁栅式位移测量系统校准规范

5.DIN877-3:2019长度测量系统环境适应性试验方法

检测设备

1.HEIDENHAINLS187C激光干涉仪（分辨率0.001μm）

2.RENISHAWXL-80激光校准系统（测量范围80m）

3.SIOSSP2000纳米定位平台（定位精度0.1nm）

4.KEYSIGHT34465A高精度数字万用表（6位分辨率）

5.FLUKE6105A电磁兼容测试系统（30V/m场强输出）

6|MITUTOYOMF-U系列三坐标测量机（空间精度1.8+L/300μm）

7|ESATRONTEMP-1000高低温试验箱（温控精度0.5℃）

8|BRUEL&KJAER3053-B-040振动测试台（频率范围5Hz-3kHz）