检测项目
1.面形精度检测:PV值≤λ/10(λ=632.8nm),RMS≤λ/50
2.角度偏差检测:直角误差≤3",顶角公差0.5
3.透过率测试:400-700nm波段透过率≥98%
4.表面粗糙度检测:Ra≤5nm(GB/T2523)
5.材料均匀性分析:折射率偏差Δn≤510⁻⁶
检测范围
1.光学玻璃棱镜:H-K9L、ZF系列高折射率玻璃
2.晶体棱镜:氟化钙(CaF₂)、石英(SiO₂)晶体
3.树脂复合棱镜:PMMA、PC材质模压件
4.镀膜棱镜:AR/IR/UV宽带增透膜系
5.工业棱镜:激光切割机用ZnSe聚焦棱镜
检测方法
1.ASTME903-20《材料太阳光吸收比测试》
2.ISO10110-5:2015《光学元件面形公差》
3.GB/T7661-2009《直角棱镜角度测量方法》
4.ISO14997:2012《光学表面缺陷检测》
5.GB/T12085.4-2022《环境试验表面应力检测》
检测设备
1.ZygoVerifire™MST激光干涉仪:面形精度0.1nm分辨率
2.MitutoyoUA3P-600三坐标测量机:角度测量精度0.1"
3.PerkinElmerLambda1050分光光度计:光谱范围175-3300nm
4.TaylorHobsonFormTalysurfPGI1240轮廓仪:Ra测量精度0.8nm
5.TriopticsOptiCentric双光路偏心仪:同轴度误差1μm
6.NikonMM-400测量显微镜:放大倍率50X-1000X
7.BrukerContourGT-X3白光干涉仪:三维形貌重建精度0.01nm
8.Agilent5500原子力显微镜:表面粗糙度分辨率0.1nm
9.Schmidt+HaenschPR-2精密折射仪:折射率测量精度210⁻⁶
10.OlympusSTM7测量系统:自动边缘识别精度0.5μm