检测项目
1.膜层厚度：测量范围0.1-10μm，精度0.5nm（台阶仪法）
2.表面粗糙度：Ra≤5nm（原子力显微镜）
3.附着力强度：划格法测试（ASTMD3359），剥离力≥5N/cm
4.方阻值：四探针法测量（0.1-1000Ω/□）
5.透光率/反射率：分光光度计分析（波长380-2500nm）
6.耐腐蚀性：盐雾试验（GB/T10125）72小时无剥落
7.元素成分：EDS能谱分析（元素检出限0.1wt%）
检测范围
1.光学镀膜：ITO导电玻璃、AR增透膜、反射镜镀层
2.半导体器件：晶圆金属化层、封装阻隔膜
3.柔性电子：OLED阳极层、触摸屏感应电极
4.包装材料：铝塑复合膜阻氧层（GB/T1038）
5.装饰镀层：PVD彩色不锈钢、纳米陶瓷涂层
检测方法
1.ASTMB487:X射线荧光测厚法（精度1%）
2.ISO14703:扫描电镜截面分析法（放大倍数10,000）
3.GB/T5270:热震法附着力测试（温度循环-40℃~150℃）
4.JISH8504:胶带剥离试验（3M#600测试胶带）
5.ISO9227:CASS加速腐蚀试验（铜盐雾环境）
6.GB/T2523:四探针方阻测试（恒流源精度0.1%）
检测设备
1.KLATencorP-7Profiler：三维表面轮廓仪（垂直分辨率0.1nm）
2.BrukerDektakXT台阶仪：最大量程1mm（重复精度0.5%）
3.ThermoFisherESCALABXi+：XPS表面分析系统（空间分辨率3μm）
4.Agilent5500AFM：原子力显微镜（扫描范围90μm90μm）
5.ShimadzuUV-3600iPlus：紫外可见近红外分光光度计
6.KeysightB2902A：精密源表（四线制电阻测量）
7.HitachiSU5000：场发射扫描电镜（EDS探测器分辨率129eV）
8.Q-LabQ-FOGCRH1100：循环腐蚀盐雾箱（温控1℃）
9.LabthinkMST-01：水氧透过率测试仪（灵敏度0.001g/m24h）
10.Instron5944：万能材料试验机（最大载荷2kN）