


1.表面粗糙度:Ra值范围0.01-0.8μm(取样长度0.25mm)
2.曲率半径误差:允许偏差0.05mm(测量直径≥50mm)
3.平面度公差:λ/10@632.8nm波长(有效孔径80%)
4.局部斜率偏差:≤3μrad(扫描步长5μm)
5.波前畸变:PV值<λ/4(测试温度201℃)
6.非球面系数偏差:Δk≤110⁻⁵(多项式阶数Z8-Z36)
1.光学元件:手机摄像头镜片(直径1-50mm)、AR/VR衍射波导片
2.半导体晶圆:12英寸硅片翘曲度(Warp<15μm)、Ⅲ-Ⅴ族化合物衬底
3.精密模具:注塑模芯型腔轮廓精度(2μm/m)、压印模板微结构
4.医疗器械:人工晶体曲率(R=6-12mm)、内窥镜反射镜组
5.航空航天部件:陀螺仪反射镜平面度(λ/20)、整流罩光学窗口
1.ISO10110-5:2015光学元件面形公差评价规范
2.ASTME2847-21非接触式表面粗糙度测量标准
3.GB/T1800.3-2020产品几何技术规范(GPS)公差原则
4.ISO14978:2018几何量测量设备通用验收条件
5.GB/T13962-2009光学经纬仪计量检定规程
6.MIL-O-13830A军用光学元件面形验收标准
1.ZygoVerifireHDX:波长移相干涉仪(分辨率0.1nm)
2.TaylorHobsonTalysurfPGI840:三维轮廓仪(Z轴重复性3nm)
3.MitutoyoSJ-410:接触式表面粗糙度仪(评估长度16mm)
4.BrukerContourGT-X3:白光干涉显微镜(垂直分辨率0.01nm)
5.PanasonicUA3P:超精密三维测量机(最大行程200200100mm)
6.TriopticsOptiSphericIFR:非球面综合测试仪(动态范围500μm)
7.KeyenceVR-6000:共聚焦激光显微镜(XY分辨率120nm)
8.NikonNEXIVVM-300S:视频测量系统(放大倍率3500)
9.FisbaμPhase干涉仪:紧凑型斐索干涉系统(口径Φ150mm)
10.AliconaInfiniteFocusG5:变焦三维显微系统(垂直分辨率10nm)
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与"面形测定器检测"相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。
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