检测项目
1.表面粗糙度：Ra值范围0.01-0.8μm（取样长度0.25mm）
2.曲率半径误差：允许偏差0.05mm（测量直径≥50mm）
3.平面度公差：λ/10@632.8nm波长（有效孔径80%）
4.局部斜率偏差：≤3μrad（扫描步长5μm）
5.波前畸变：PV值＜λ/4（测试温度201℃）
6.非球面系数偏差：Δk≤110⁻⁵（多项式阶数Z8-Z36）
检测范围
1.光学元件：手机摄像头镜片（直径1-50mm）、AR/VR衍射波导片
2.半导体晶圆：12英寸硅片翘曲度（Warp＜15μm）、Ⅲ-Ⅴ族化合物衬底
3.精密模具：注塑模芯型腔轮廓精度（2μm/m）、压印模板微结构
4.医疗器械：人工晶体曲率（R=6-12mm）、内窥镜反射镜组
5.航空航天部件：陀螺仪反射镜平面度（λ/20）、整流罩光学窗口
检测方法
1.ISO10110-5:2015光学元件面形公差评价规范
2.ASTME2847-21非接触式表面粗糙度测量标准
3.GB/T1800.3-2020产品几何技术规范(GPS)公差原则
4.ISO14978:2018几何量测量设备通用验收条件
5.GB/T13962-2009光学经纬仪计量检定规程
6.MIL-O-13830A军用光学元件面形验收标准
检测设备
1.ZygoVerifireHDX：波长移相干涉仪（分辨率0.1nm）
2.TaylorHobsonTalysurfPGI840：三维轮廓仪（Z轴重复性3nm）
3.MitutoyoSJ-410：接触式表面粗糙度仪（评估长度16mm）
4.BrukerContourGT-X3：白光干涉显微镜（垂直分辨率0.01nm）
5.PanasonicUA3P：超精密三维测量机（最大行程200200100mm）
6.TriopticsOptiSphericIFR：非球面综合测试仪（动态范围500μm）
7.KeyenceVR-6000：共聚焦激光显微镜（XY分辨率120nm）
8.NikonNEXIVVM-300S：视频测量系统（放大倍率3500）
9.FisbaμPhase干涉仪：紧凑型斐索干涉系统（口径Φ150mm）
10.AliconaInfiniteFocusG5：变焦三维显微系统（垂直分辨率10nm）