阴极环检测

检测项目

1.尺寸精度：外径公差0.005mm/内径公差0.003mm/平面度≤0.01mm

2.表面粗糙度：Ra≤0.4μm/Rz≤3.2μm（接触面区域）

3.硬度测试：维氏硬度HV0.3≥800（硬质合金基体）

4.导电性能：电阻率≤510⁻⁶Ωm（20℃标准环境）

5.热变形量：高温800℃持续2h后形变量≤0.02mm

6.镀层结合力：划格法测试符合ASTMB571Level4B标准

7.真空放气率：极限真空度≤510⁻⁶PaL/s（烘烤除气后）

检测范围

1.钨铜合金阴极环（WCu20-WCu50系列）

2.钼钛复合阴极环（Mo-TiC梯度材料）

3.石墨基等离子体阴极环（高纯等静压石墨）

4.陶瓷涂层阴极环（Al₂O₃/TiN复合涂层）

5.不锈钢支撑环（316L真空退火件）

6.钽铌合金扩散焊组件

检测方法

1.尺寸测量：GB/T1800.2-2020《产品几何技术规范》配合三坐标测量法

2.表面分析：ISO25178-2:2022非接触式白光干涉仪测量

3.导电测试：ASTMB193-16四探针电阻率测定法

4.热性能试验：GB/T13301-2019高温变形测量系统

5.镀层检验：ISO2647:1973金相切片分析法

6.真空特性：ASTME595-15质谱分析法测定放气率

检测设备

1.ZeissACCURAII三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm

2.TaylorHobsonFormTalysurfi120粗糙度仪：垂直分辨率0.8nm

3.Instron6800系列万能试验机：载荷精度0.5%示值

4.LecoM-400-H1显微硬度计：载荷分辨率1mN

5.AgilentB2902A精密源表：电流分辨率10fA

6.PfeifferVacuumHLT560质谱检漏仪：灵敏度510⁻mbarL/s

7.NetzschDIL402C热膨胀仪：温度分辨率0.1℃

8.OlympusGX53金相显微镜：5000倍纳米级观测

9.VacuumAtmospheres手套箱系统：氧含量＜1ppm

10.KeysightE4990A阻抗分析仪：频率范围20Hz-120MHz