检测项目

1.坐标原点定位精度：X/Y轴零点偏移量≤0.5μm（20℃恒温环境）

2.坐标轴正交性误差：角度偏差≤1.5角秒（激光干涉仪校准）

3.尺度因子线性度：全量程范围内非线性误差≤0.0015%FS

4.重复定位精度：三维空间内重复性误差≤0.8μm（置信度95%）

5.温度漂移系数：ΔL/ΔT≤0.12μm/℃（-10℃~40℃温控测试）

检测范围

1.精密机械加工中心主轴定位系统

2.航空航天用复合材料蒙皮成型模具

3.半导体光刻机晶圆台运动平台

4.轨道交通轨道几何参数测量仪

5.大型天文望远镜赤道仪传动机构

检测方法

ISO10360-2:2022《坐标测量机性能评定》多位置误差补偿法

GB/T17421.2-2016《机床检验通则》网格板比对测量法

ASTME2848-19《激光跟踪系统校准规范》球杆仪动态测试法

ISO230-6:2020《数控机床圆运动测试》空间对角线扫描法

GB/T13962-2009《光学经纬仪检定规程》恒星时角法标定

检测设备

1.LeitzInfinity坐标测量机：配备HP-L-8.9高精度测头（分辨率0.01μm）

2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm（40m量程）

3.APIXDLaser六维激光跟踪仪：角度测量精度15μm+6μm/m

4.HexagonROMERAbsoluteArm七轴关节臂：空间精度0.025mm

5.MitutoyoCrysta-ApexS系列影像仪：双远心镜头放大倍率50X~200X

6.ZygoVerifire干涉仪：波前分析精度λ/100（λ=632.8nm）

7.Keysight5530动态校准仪：频率响应范围0-100Hz

8.FAROVantage激光跟踪仪：绝对测距精度10μm@10m

9.NikonNEXIVVMZ-S655T视频测量系统：亚像素边缘识别技术

10.SIOSSP-2000平面度测量仪：纳米级平面基准生成能力

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与高斯平面坐标系检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。