检测项目

1.表面粗糙度：Ra值范围0.01-0.1μm（白光干涉仪测量）

2.主轴转速精度：1%偏差（激光转速计校准）

3.振动幅度：≤2μm（RMS值）

4.温度控制精度：1℃（红外热像仪监测）

5.磨盘平面度误差：≤0.005mm/300mm（三坐标测量仪验证）

检测范围

1.金属材料：不锈钢、铝合金、钛合金等金相试样

2.陶瓷材料：氧化铝、碳化硅等超硬材料试样

3.复合材料：碳纤维增强基体（CFRP）截面试样

4.电子元件：半导体晶圆切割面处理评估

5.生物医用材料：人工关节金属表面抛光质量检验

检测方法

ASTME3-11(2021)金相试样制备标准

ISO25178-2:2022表面粗糙度测量规范

GB/T3505-2020产品几何技术规范(GPS)表面结构参数

GB5226.1-2019机械电气安全通用要求

ISO10816-3:2018机械振动评估标准

检测设备

1.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪（分辨率0.001μm）

2.Keysight3560A动态信号分析仪（振动频谱分析）

3.FlukeTiX580红外热像仪（热分布成像）

4.HexagonGlobalClassic三坐标测量机（空间精度1.8μm）

5.PolytecPDV-100激光测振仪（非接触式振动测量）

6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪（三维形貌重建）

7.ShimadzuHMV-G21显微硬度计（抛光面硬度验证）

8.OnoSokkiMP-981转速校准系统（动态转速采集）

9.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜（500倍显微观测）

10.Agilent34972A数据采集器（多通道参数记录）