检测项目
1.簇离子浓度测定：测量范围110~110⁹ions/cm，精度5%
2.粒径分布分析：粒径范围0.5~100nm，分辨率0.3nm
3.电荷态分布检测：电荷数1~10+，能量分辨率≤0.1eV
4.元素组成鉴定：检出限0.01ppm（ICP-MS联用）
5.热稳定性测试：温度范围-196℃~1200℃，控温精度0.5℃
6.表面吸附特性：比表面积测量精度0.05m/g
检测范围
1.半导体材料：硅基芯片、GaN外延层、碳化硅晶圆
2.纳米涂层材料：金属氧化物涂层（TiO₂/Al₂O₃）、DLC类金刚石薄膜
3.生物医用材料：羟基磷灰石植入体、药物载体纳米颗粒
4.能源材料：锂离子电池电极材料、燃料电池催化剂
5.环境污染物：PM2.5气溶胶颗粒、工业纳米粉尘
检测方法
1.ASTME2941-14：基于飞行时间质谱的簇离子粒径测定标准方法
2.ISO15900:2020：差分电迁移分析法（DMA）国际标准
3.GB/T38095-2019：纳米颗粒物Zeta电位测定国家标准
4.ISO19749:2021：扫描电子显微镜结合能谱（SEM-EDS）联用技术规范
5.GB/T41315-2022：电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）元素分析标准
检测设备
1.TSI3082型电迁移粒径谱仪：测量范围3~1000nm，流量控制精度1%
2.ThermoFisherOrbitrapFusionLumos三合一质谱仪：分辨率≥240,000@m/z200
3.MalvernZetasizerNanoZSP：Zeta电位测量范围500mV，温度控制0.1℃
4.Agilent8900ICP-QQQ-MS：检出限低至ppt级，质量数范围3~270amu
5.HitachiRegulus8230场发射SEM：分辨率0.8nm@15kV，配备BSE/EDS探测器
6.MicromeriticsASAP2460比表面分析仪：孔径测量范围0.35~500nm
7.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：XYZ扫描范围909010μm
8.NetzschSTA449F5同步热分析仪：TG/DSC同步测量精度0.1μg