检测项目

真空度维持测试：初始真空度≤1×10^-3 Pa，24小时真空衰减≤5%

泄漏率检测：氦气泄漏率≤1×10^-9 Pa·m³/s（ASTM E493标准）

材料渗透率测试：高阻隔材料水蒸气透过率≤0.005 g/m²·day（ISO 15106-3）

耐压强度测试：真空腔体承受外压≥0.1 MPa（ISO 27894）

密封件耐久性测试：500次热循环（-196℃~350℃）后泄漏率变化≤10%

检测范围

半导体封装器件：晶圆级封装、MEMS传感器真空腔体

航空航天组件：卫星推进器密封舱、航天服关节密封件

医疗真空包装：药品无菌包装、医疗器械灭菌袋

光学镀膜元件：高反射镜真空镀膜层、激光器窗口片

新能源装置：锂电芯铝塑膜、燃料电池双极板密封组件

检测方法

氦质谱检漏法（ASTM E493）：采用示踪气体法检测微泄漏，灵敏度达1×10^-12 Pa·m³/s

压差法渗透测试（ISO 15106-2）：通过压差传感器测定材料气体渗透量

残余气体分析法（ISO 14291）：四极质谱仪分析真空系统内气体组分变化

热循环测试法（MIL-STD-883H）：评估材料热膨胀系数差异对密封性的影响

真空衰减法（ASTM F2338）：实时监测密闭系统压力回升速率

检测设备

INFICON UL1000氦质谱检漏仪：检测范围1×10^-4~1×10^-12 Pa·m³/s，配备自动校准模块

Agilent 7890B气相色谱仪：配合真空进样系统进行渗透气体定量分析

Leybold TURBOVAC 361分子泵机组：极限真空度5×10^-7 Pa，配备磁悬浮轴承技术

MKS 925型电容薄膜规：0.1Pa~100kPa全量程压力监测，精度±0.12%读数

ESPEC TCV-022热冲击试验箱：温度转换速率≥15℃/min，温控精度±0.5℃

技术优势

获CNAS（CNAS 详情请咨询工程师5）和CMA（2023001234）双认证，检测报告国际互认

配备NIST可溯源标准漏孔（SRG-2型），确保量值传递准确性

实验室符合ISO/IEC 17025体系要求，设备年校准率100%

技术团队包含3名ASNT III级认证工程师，平均从业经验12年以上

自主研发真空系统仿真软件（V-SIM 3.0），可预测复杂工况下密封性能

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与破坏真空检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。