检测项目
1.光谱分辨率测试:测量仪器在400-1000nm范围内的最小可分辨波长间隔(≤0.1nm)
2.波长精度校准:验证仪器在可见光波段(380-780nm)的波长定位误差(0.2nm)
3.信噪比测试:评估系统在积分时间100ms时的信噪比(≥60dB)
4.动态线性范围:测定光电探测器在200-800nm波段的响应线性度(R≥0.999)
5.系统稳定性测试:连续工作8小时的光强波动值(≤0.5%)
检测范围
1.金属材料表面氧化层厚度(10nm-5μm)
2.半导体晶圆掺杂浓度(1E15-1E20atoms/cm)
3.光学薄膜反射/透射特性(250-2500nm波段)
4.LED芯片发光效率与色坐标偏差
5.光伏组件量子效率与光谱响应曲线
检测方法
ASTME275-08(2017)紫外、可见光分光光度计性能验证规程
ISO15470:2017表面化学分析-X射线光电子能谱仪强度标校准
GB/T32212-2015光谱仪性能测试方法
GB/T26179-2010光源显色性评价方法
ISO21254-1:2011激光诱导损伤阈值测量规范
检测设备
1.OceanOpticsHR4000高分辨率光谱仪:波长范围200-1100nm,光学分辨率0.035nm
2.AvantesAvaSpec-ULS2048XL:2048像素背照式CCD,积分时间1ms-10min
3.ShimadzuUV-3600Plus紫外可见近红外分光光度计:带宽0.1-20nm可调
4.HoribaLabRAMHREvolution显微拉曼光谱仪:空间分辨率<1μm
5.PerkinElmerLambda950双单色器系统:杂散光<0.00007%T@220nm
6.BrukerVERTEX80v真空型FTIR光谱仪:光谱范围30-28,000cm⁻
7.AgilentCary7000全能型分光光度计:最大扫描速度24000nm/min
8.AndorSR-500i成像光谱仪:16位科学级CMOS探测器
9.JascoFP-8500荧光分光光度计:波长准确度0.3nm
10.ThermoScientificNicoletiS50FTIR光谱仪:DTGS检测器信噪比50,000:1