检测项目

1.槽深精度测量：分辨率0.1μm，允许误差0.05mm

2.侧壁倾斜角分析：角度范围30-90，测量精度0.5

3.底部粗糙度评估：Ra值0.1-6.3μm，符合ISO4287标准

4.微观裂纹检出：最小识别宽度0.01mm，深度方向分辨率5μm

5.过渡区组织分析：晶粒度评级G=4-12级（ASTME112）

检测范围

1.航空级钛合金TC4/TA15锻件

2.核电用316L奥氏体不锈钢管道

3.汽车发动机缸体铝合金ADC12铸件

4.石油钻杆用42CrMo4高强度钢

5.半导体设备用Al₂O₃陶瓷基板

检测方法

ASTME3-11金属试样制备标准

ISO17639:2022焊接接头宏观检验规范

GB/T11344-2021超声波测厚方法

ASTME407-07微观浸蚀操作规程

GB/T29711-2013焊缝无损检测方法

检测设备

1.奥林巴斯DSX1000数码显微镜：5000倍放大，三维形貌重建

2.泰勒霍普森FormTalysurfi系列轮廓仪：0.8nm纵向分辨率

3.蔡司EVOMA25扫描电镜：20kV加速电压，能谱分析模块

4.三丰MitutoyoCrysta-ApexS七坐标测量机：空间精度1.5μm

5.布鲁克D8ADVANCEX射线衍射仪：Cu靶Kα辐射源

6.岛津AGS-X电子万能试验机：100kN载荷精度0.5%

7.KeyenceVHX-7000超景深显微镜：4K像素实时测量

8.尼康ECLIPSELV150金相显微镜：微分干涉对比功能

9.海克斯康LeitzPMM-C超高精度三坐标：温度补偿系统

10.ThermoScientificPrismaESEM：背散射电子探测器

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与深浸蚀槽检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。