抽气器检测

检测项目

1.抽气效率：测量单位时间内气体排出量（m/min），精度0.5%FS

2.极限真空度：评估系统最低压力值（Pa），范围10⁻~10⁻⁶Pa

3.泄漏率测试：氦质谱法检测漏率≤110⁻⁸Pam/s

4.耐压强度：验证壳体承压能力（0.6~2.5MPa），保压30分钟无变形

5.振动噪声：A计权声压级≤75dB(A)，频率分析20Hz-20kHz

检测范围

1.工业级旋片式真空泵（油润滑/干式）

2.医用负压吸引装置（手术室/急救车用）

3.实验室分子涡轮泵系统（无油超高真空）

4.半导体制造用低温泵机组

5.航空航天环境模拟舱体抽气单元

检测方法

ASTME834-22《真空系统泄漏测试标准实践》

ISO21360:2019《真空技术-容积真空泵性能测量》

GB/T13979-2021《容积真空泵试验方法》

GB/T3163-2022《真空技术术语》

ISO1608-1:2020《蒸汽喷射真空泵性能测试规范》

检测设备

1.AgilentUHV-24复合真空计（量程10⁵~10⁻⁰Pa）

2.LeyboldPHOENIXL300i氦质谱检漏仪（灵敏度510⁻Pam/s）

3.Keysight34972A数据采集系统（6位分辨率）

4.Bruel&Kjaer2270声级计（IEC61672Class1标准）

5.Fluke754过程校准仪（压力测量精度0.025%）

6.INFICONTILTIX热偶电离复合传感器

7.MKS925B电容薄膜规（0.1Torr~1000Torr量程）

8.PfeifferHPT200高精度涡轮分子泵组

9.ShimadzuAGX-V电子万能试验机（200kN载荷）

10.TESTO480多功能环境测量仪（温湿度/压力同步监测）